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TEL原装系列设备 UTW系列 半导体温湿度控制设备 半导体设备改造 半导体设备精密配件加工
UTW-1500

UTW-1500

生产范围：2-6寸晶片
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护
采用主流配件，减少宕机配件等待时间
改造性强，可进行定制化服务
产品介绍
►晶片尺寸：2- 6寸

►INDEXER：放置晶片盒4个

►最小线宽尺寸：350nm

►WPH：最高150 pcs(根据recipe不同而有所不同)

►uptime：≥95%  (不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF： ≥500hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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