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UTW-2000A

UTW-2000A

生产范围：4-8寸晶片
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求


产品介绍
►晶片尺寸： 4-8寸（50mm-200mm）

►LOAD POR：放置晶片盒4个OPEN CASSETTE & SIMF 

►最小线宽尺寸：180nm

►WPH：100 pcs  (根据recipe不同 而有所不同)

►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)

►MTBF：≥500hrs

►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择

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