卓越的品质源自我们不懈的追求，我们精益求精，只做精品
最小线宽尺寸：45nm
操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。
交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。
单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。 可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。
适用晶圆规格：6-8寸晶圆 最小线宽精度90nm 安装效率高，减少交付等待时间 故障提示清晰，减少故障查找时间
适用晶圆规格：4-8寸晶圆 最小线宽精度180nm 采用整体叠层布局，可靠性高 满足多种功能芯片制程需求
适用晶圆规格：2-6寸晶圆 最小线宽精度350nm 采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护 采用主流配件，减少宕机配件等待时间 改造性强，可进行定制化服务
在线咨询
咨询热线
官方微信
