UTW-3000

最小线宽尺寸：45nm

操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。

交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。

UTW-DQ

单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。
可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆
最小线宽精度90nm
安装效率高，减少交付等待时间
故障提示清晰，减少故障查找时间

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求

UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护
采用主流配件，减少宕机配件等待时间
改造性强，可进行定制化服务

维易科党支部荣获“先进党组织”称号

此次获评“先进党组织”，既是一份荣誉，更是一份责任。维易科党支部将以此为新起点，持续深化党建引领，不忘初心、砥砺前行，为推动半导体设备国产化和区域产业高质量发展再立新功。

粽叶飘香，情暖维易尔

端午将至，粽叶飘香。在中华民族传统佳节端午节来临之际，维易尔为全体员工精心准备了端午暖心福利，以一份份满载心意的粽子礼盒，向每一位在岗位上默默耕耘的维易尔人致以最诚挚的节日问候与感谢。

UTW-1500匀胶显影设备顺利交付

经过严格的出厂前测试与多轮工艺验证，UTW-1500匀胶显影设备于近日顺利完成封装并正式启运。设备运抵客户现场后，维易科交付团队第一时间响应，高效配合客户完成接收、拆箱及初步安装工作，确保设备状态完好、交接流程顺畅。