UTW-3000

最小线宽尺寸：45nm

操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。

交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。

UTW-DQ

单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。
可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆
最小线宽精度90nm
安装效率高，减少交付等待时间
故障提示清晰，减少故障查找时间

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求

UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护
采用主流配件，减少宕机配件等待时间
改造性强，可进行定制化服务

UTW-1500匀胶显影设备顺利交付

经过严格的出厂前测试与多轮工艺验证，UTW-1500匀胶显影设备于近日顺利完成封装并正式启运。设备运抵客户现场后，维易科交付团队第一时间响应，高效配合客户完成接收、拆箱及初步安装工作，确保设备状态完好、交接流程顺畅。

UTW-1500匀胶显影设备成功交付

作为一款专为半导体器件及集成电路制造设计的前道设备，UTW-1500结构紧凑、产能优势突出，集全自动涂胶、显影、烘干、冷却于一体，能够满足高端制程对均匀性、重复性与洁净度的严格要求。此次顺利出货与快速交付，再次展现了维易科从产品品质到现场服务的全链路保障能力。

UTW-1500匀胶显影设备顺利出货，以卓越品质护航半导体前道制程

近日，维易科自主研发的UTW-1500匀胶显影设备圆满完成全面调试与多轮严苛检验，正式封装启运。次日，设备安全运抵客户现场，交付团队快速响应，协同客户高效完成设备接收及初步安装工作。从出库到交付，维易科始终恪守对品质的极致追求，以稳定可靠的设备性能与专业迅捷的现场服务，为客户的生产线提供“运行无忧”的坚实保障。