UTW-3000

最小线宽尺寸：45nm

操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。

交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。

UTW-DQ

单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。
可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆
最小线宽精度90nm
安装效率高，减少交付等待时间
故障提示清晰，减少故障查找时间

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求

UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护
采用主流配件，减少宕机配件等待时间
改造性强，可进行定制化服务

UTW-1500匀胶显影设备圆满交付！

历经严苛的出厂校准与长达数周的工艺匹配验证，UTW-1500匀胶显影设备于近日顺利完成封装并正式启运，奔赴客户产线。设备抵达现场后，维易科驻场服务团队即刻启动“一站式”交付流程，高效协同客户完成设备定位、精度复检及厂务对接，确保整批设备以最佳状态接入生产环境，实现交付环节“零延误、零瑕疵”。

ACT8匀胶显影设备顺利交付

经过工程师们的精心调试与严格检验，ACT8匀胶显影设备顺利完成了打包出货流程。次日，该设备成功运抵客户现场，并顺利完成交付

维易科党支部荣获“先进党组织”称号

此次获评“先进党组织”，既是一份荣誉，更是一份责任。维易科党支部将以此为新起点，持续深化党建引领，不忘初心、砥砺前行，为推动半导体设备国产化和区域产业高质量发展再立新功。