UTW-3000

最小线宽尺寸：45nm

操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。

交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。

UTW-DQ

单匀胶/显影单元设计，集自动供液、废液回收、晶圆加热与冷却等功能于一体。
可按需灵活定制，适合各科研院校、高校、研究院所等低成本投入用户。

UTW-2000Z

适用晶圆规格：6-8寸晶圆
最小线宽精度90nm
安装效率高，减少交付等待时间
故障提示清晰，减少故障查找时间

UTW-2000A

适用晶圆规格：4-8寸晶圆
最小线宽精度180nm
采用整体叠层布局，可靠性高
满足多种功能芯片制程需求

UTW-1500

适用晶圆规格：2-6寸晶圆
最小线宽精度350nm
采用整体叠层布局，结构紧凑，易于维护
采用主流配件，减少宕机配件等待时间
改造性强，可进行定制化服务

UTW-1500设备顺利交付

经过全面调试与多轮严苛检验，UTW-1500匀胶显影设备顺利完成封装，正式启动发运流程。次日，设备安全运抵客户现场，维易科交付团队迅速响应，协同客户完成接收与初步安装工作。从产品出库到现场交付，维易科始终秉持对品质的极致追求，为客户提供稳定可靠、运行无忧的坚实保障。

江西维易科半导体科技有限公司产品列入江西省首台（套）目录

近日，江西省工业和信息化厅正式发布了江西省首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2025年版），江西维易科半导体科技有限公司涂胶显影机产品成功列入江西省首台（套）目录。

两台UTW-1500匀胶显影设备顺利交付

此次顺利出货的UTW-1500匀胶显影设备，是维易科自主研发的高性能半导体前道设备，兼具结构紧凑与产能出色的双重优势，专为半导体器件及集成电路制造而打造。该设备集全自动涂胶、显影、烘干及冷却等功能于一体，凭借卓越的工艺控制能力，全面满足客户对高精度、高稳定性生产工艺的严苛需求，为客户生产线注入强有力的技术支撑。