卓越的品质源自我们不懈的追求，我们精益求精，只做精品
最小线宽尺寸：45nm
操作系统：基于 Windows 平台开发，符合工业4.0标准，易于联网对接工厂MES系统。
交互界面：15-21寸高清触摸屏，支持多点触控，操作逻辑模拟智能终端，无需外接键鼠即可完成所有指令。
►适用晶圆规格：8-12寸
►最小线宽尺寸：45nm
►适配光刻机：ASML、Nikon、CANON、CECT、SMCC
►适用工艺：I line,KrF,ArF,PI,PR,Package
►WPH：≤200pcs
►uptime：≥95%(不含维护保养及配件等待时间)
►MTBF：≥1000hrs
►客制化定制：根据客户工艺需求进行配置选择
